UNIVEX C

Cluster Tool (Kümeli Sistem)

UNIVEX C hazne boyutunun müşteri ihtiyaçlarına göre üretildiği bir kümeli sistemdir.

UNIVEX C bir ya da bir çok işlem haznesinin yanı sıra bir transfer haznesinden ve load-lock haznesinden oluşur.

Her hazne kendi yüksek vakum pompa sistemleriyle donatılmıştır. Bütün elektrik güç sağlayıcısı ayrı bir 19″’lik kabinde yer almaktadır.

Pompa sistemi genel olarak, bir turbomoleküler pompa ve bir yardımcı pompadan oluşur.

UNIVEX C’nin pompa sistemleri ve bütün işlem adımları PLC tarafından denetlenir. Çok sayıda farklı işlem ve parametre kaydedilebilir ve tarif olarak işlenebilir.

Aşağıdaki bileşenler hazneye yerleştirilebilir:

• Termal buharlaştırıcılar
• Vakum aşındırma sistemi
• Elektron demeti kullanarak buharlaştırma
• DC saçtırma kaynakları
• RF saçtırma kaynakları
• Alttaş tutucu, ısıtıcılar, film kalınlık ölçüm cihazları gibi yardımcı bileşenler
• İhtiyaçlarınıza yönelik özel tesisatlar
• RF temizleme
• Robot kontrollü taşıma sistemleri

UNIVEX C özellikle tam otomatik işlemli film üretimi ve film sistemleri için tasarlanmıştır. İşlem denetleyicisi önemli ölçüde verimliliği ve tekrar edilebilir sonuçları sağlar. Haznenin tasarımı ihtiyaçlarınız doğrultusunda belirlenir.