Ürünler | UNIVEX
PVD Kaplama Sistemleri univex_research

Bilgi formumuzu doldurarak bize aktarın, uygulama destek ekibimiz uygun olan sistemi belirleyerek sizi arasın!

Bilgi Formu için tıklayınız…

UNIVEX 900

univex-600

UNIVEX 900 daha büyük örnekler yada çoklu örnek gurupları için pilot üretim yada çoklu kaplamalar (batches) yapmaya imkan verir.

Sekizgen şeklindeki geniş haznesi çok sayıda kaynağın hazne içine konmasına imkan verir. Yüksek çıktı ve/veya ardışık kaplamalar için farklı teknikler bir arada kullanılabilir.

Uygulamalardan bazıları:
  • Optik kaplamalar
  • Opto-elektronik cihazlar (opto-electronic devices)
  • Resistive RAM
  • Yüksek sıcaklık süperiletkenler
Genel Hazne Konfigürasyonları:
  • Örnek ısıtıcıları ve/veya soğutucuları
  • Çok bölmeli (Multi Pocket) Elektron demeti buharlaştırma (e-beam evaporator) ve iyon kaynağı.
  • Tekli yada çoklu örnek gurupları için palet, kubbe (dome) yada gezegensel (planetary) dönüş sağlayan tutucular.
Özellikler:
  • Hazne Boyutu: Genişlik: 900mm – Derinlik: 900mm – Yükseklik: 1100mm
  • Termal Buharlaştırma: 8 Malzemeye kadar buharlaştırma imkanı
  • Organik Buharlaştırma: 8 Malzemeye kadar buharlaştırma imkanı
  • Elektron Demeti Buharlaştırma: Çoklu bölmeli ve/veya tek bölmeli
  • Saçtırma: Opsiyonel
  • Eş Kaplama (Co-Deposition): Evet
  • Iyon Destekli Kaplama: Opsiyonel
  • Load Lock uyumu: Opsiyonel
  • Hazne duvarlarında su kanalları: Opsiyonel
  • Vakum seviyesi: 5X10-7mbar
  • UHV Versiyonu: Opsiyonel
  • Temizoda Uyumu: Evet