Ürünler | UNIVEX
PVD Kaplama Sistemleri univex_350

Bilgi formumuzu doldurarak bize aktarın, uygulama destek ekibimiz uygun olan sistemi belirleyerek sizi arasın!

Bilgi Formu için tıklayınız…

UNIVEX 600

univex-600

Farklı teknikler ya da daha fazla kaynak için daha fazla hacme ihtiyacınız varsa UNIVEX 600 bunu sizin için sağlayacaktır.

Haznenin kapağı ile kaynaklar arasında rahat çalışmanıza imkan veren oldukça geniş bir servis alanı mevcuttur.

Sizin özel ihtiyaçlarınız ile uyumlu çoklu yada tekli örnek taşıyıcılardan seçim yapabilirsiniz.

Uygulamalardan bazıları:
  • Optik kaplamalar
  • Opto-elektronik cihazlar (opto-electronic devices)
  • Resistive RAM
  • Yüksek sıcaklık süperiletkenler
Genel Hazne Konfigürasyonları:
  • Örnek ısıtıcıları ve/veya soğutucuları
  • Çok bölmeli (Multi Pocket) Elektron demeti buharlaştırma (e-beam evaporator) ve iyon kaynağı.
  • Tekli yada çoklu örnek gurupları için palet, kubbe (dome) yada gezegensel (planetary) dönüş sağlayan tutucular.
  • Konfokal pozisyonda (Confocal Configuration) yada yüz yüze (face to face) çoklu saçtırma kaynağı. Yukarı yada aşağı saçtırma (Sputter up or down)
Özellikler:
  • Hazne Boyutu: Genişlik: 600mm – Derinlik: 600mm – Yükseklik: 800mm
  • Termal Buharlaştırma: 8 Malzemeye kadar buharlaştırma imkanı
  • Organik Buharlaştırma: 8 Malzemeye kadar buharlaştırma imkanı
  • Elektron Demeti Buharlaştırma: Çoklu bölmeli ve/veya tek bölmeli
  • Saçtırma: Yukarı ya da aşağı 4X3″, 3X4″, 6X2″
  • Eş Kaplama (Co-Deposition) : Buharlaştırma ve/veya Saçtırma
  • Iyon Destekli Kaplama: Opsiyonel
  • Load Lock uyumu: Opsiyonel
  • Hazne duvarlarında su kanalları: Opsiyonel
  • Vakum seviyesi: 5X10-7mbar
  • UHV Versiyonu: Opsiyonel
  • Temizoda Uyumu: Evet