Ürünler | UNIVEX
PVD Kaplama Sistemleri univex-400

Bilgi formumuzu doldurarak bize aktarın, uygulama destek ekibimiz uygun olan sistemi belirleyerek sizi arasın!

Bilgi Formu için tıklayınız…

UNIVEX 400

univex-400

En populer sistemimiz olan UNIVEX 400 Ar&Ge ve Pilot üretim uygulamaları için kullanılabilir.

Uygulamalardan bazıları:
  • Ince film solar: CdTe, CIGS, CZTS saçtırma prosesleri
  • Organik Elektronik (PV, OLEDS)
  • Optik kaplamalar
  • Mikroelektronik
Genel Hazne Konfigürasyonları:
  • Çok bölmeli (Multi Pocket) Elektron demeti buharlaştırma (e-beam evaporator) ve iyon kaynağı.
  • 2” lik 4 adete kadar konfokal pozisyonda (Confocal Configuration) saçtırma kaynağı. Yukarı yada aşağı saçtırma (Sputter up or down)
  • Elektron demeti ve Organik buharlaştırıcılar. Inorganik-Organik malzemelerin buharlaştırılması.
Özellikler:
  • Hazne Boyutu: Genişlik: 420mm – Derinlik: 480mm – Yükseklik: 550mm
  • Termal Buharlaştırma: 8 Malzemeye kadar buharlaştırma imkanı
  • Organik Buharlaştırma: 8 Malzemeye kadar buharlaştırma imkanı
  • Elektron Demeti Buharlaştırma: Çoklu bölmeli ve/veya tek bölmeli
  • Saçtırma: Yukarı ya da aşağı 4X2″, 3X3″, 2X4″
  • Eş Kaplama (Co-Deposition) : Buharlaştırma ve/veya Saçtırma
  • Iyon Destekli Kaplama: Opsiyonel
  • Load Lock uyumu: Opsiyonel
  • Hazne duvarlarında su kanalları: Opsiyonel
  • Vakum seviyesi: 5X10-7mbar
  • UHV Versiyonu: Opsiyonel
  • Temizoda Uyumu: Opsiyonel