Ürünler | UNIVEX PVD Kaplama Sistemleri univex_research

Planladığınız deney ne tür olursa olsun, bizim evrensel konseptimize dayanan size özel vakum sistemleri geliştirmek için bir araya gelelim.

Uygulama destek ekibimiz size yardımcı olmaktan memnun olacaktır.

univex_350G

UNIVEX 350G

Kapılı Hazne Sistemleri

Vakum odası bağlantısı için kübik vakum hazneli ve ön kayar kapılı laboratuar sistemi (350mm çap).

Tipik uygulamalar
  • Ar-ge için vakum kaplama
  • Ön-üretim testleri
  • Özel deneyler
Tasarım
  • UNIVEX 350 G, bir kaplama modülünden ve bir 19”lik Rack’lı sisteme sahip kabinden oluşur.
  • Kaplama modülünde hazne ve pompa sistemi bulunmaktadır.
  • Kabinde ise grafikli dokunmatik ekrana sahip PLC sistem denetleyicili güç kaynağı bulunur. Ayrıca, işlem bileşenleri için kullanılan kaynaklar da bu kabinde yer almaktadır.
Vakum haznesi
  • Taban plakası ana şasiye bağlanmıştır.
  • Kayan ön kapı manuel olarak açılır ve pnömatik olarak kapanır.
  • Alt plakada ve kapakta montaj delikleri bulunur.
  • Pompa sistemi ve işlem bileşenleri için yan tarafta ek flanşlar bulunur.
Pompa sistemi
  • Standart pompalama ekipmanları, bir tane TRIVAC D 25 B rotary vane tipi pompadan ve bir tane TURBOVAC 600C turbomoleküler pompadan oluşur.
Vakum ölçümü
  • Uygulama tipine bağlı olarak, soğuk katod veya sıcak katod prensiplerine uygun vakum ölçerler yerleştirilebilir.
Kullanıcı için avantajlar
  • Glove box’un arkasına yerleştirilmek üzere tasarlanmış.
  • Kayan ön kapı sayesinde işleme rahat erişim.
  • Yan servis kapılarından hazneye kolay erişim
  • Tek kayan kapı vakum odasında yer almaktadır. Diğer bütün sistem bileşenlerine dışarıdan rahatlıkla ulaşılabilinir.
  • Modüler sistem tasarımı.
  • Montaj kolaylığı ve işlem bileşenleri için kolay bir şekilde donanımın iyileştirilmesi.
  • Kolay operasyon ve programlanabilir kontroller sayesinde kolay kullanım.
  • Yüksek frekanslı püskürtme olanağı
  • Tekil işlemlere uygun pompa sistemi
Seçenekler
  • Kolay demonte edilebilir kaplama koruma panelleri mevcuttur.
  • Kısa pompalama süreleri için, yüksek vakum pompalamasını es geçen baypas hatları temin edilebilir.
  • Yüksek hacimde gaz pompalamayı gerektiren veya düşük çalışma basıncı gerektiren uygulamalar için, UNIVEX 350 G daha yüksek pompalama hızına sahip turbomoleküler pompalarla  (örneğin TURBOVAC 1100 C) veya kriyopompalarla donatılabilir.
  • Aşındırıcı gazların pompalandığı işlemler için, aşınmaya dayanıklı turbomoleküler pompa ve özel yağlı rotary vane tipi pompa tedarik edilebilir.
  • Hassas işlemler için, SCROLLVAC SC 30 D gibi kuru pompalar destek pompası olarak kullanılabilir.
Komple sistem çözümleri İsteğe bağlı olarak, UNIVEX 350 G kaplama sistemi bir glove box’a entegre şekilde sunulabilir. Bu tip sistemler hakkında bilgi almak için lütfen bizimle iletişim kurmaktan çekinmeyin