Turbomoleküler pompalar

TURBOVAC

Turbomoleküler pompalar, mekanik süspansiyonlu

Ayrışmış pompa elektronikleriyle zorlu uygulamalar için kendini kanıtlamış ve güvenilebilir ürün gamı.

---

Sizin Beklentileriniz:

• Temiz, yüksek ve çok yüksek vakum üreticisi
• Zorlu işlem koşullarına rağmen güvenli kullanım
• Uzun servis ömrü

Bizim Çözümümüz:

• 1,150 l/s’e kadar pompalama hızı
• İki adet yağsız mekanik seramik yatak
• Mekanik şoklara ve şok havalandırma elde edilebilir durumlara yüksek dirençli versiyonlar
• Radyasyon işlemleri için hiçbir elektronik içermeyen versiyonlar

TURBOVAC i/i

Hibrit yatak teknolojili Turbomoleküler pompalar (mekanik/manyetik)

Yüksek performanlı veri ve entegre elektonikler içeren yenilikçi ve esnek ürün gamı.

---

Sizin Beklentileriniz:

• Temiz, yüksek ve çok yüksek vakum üreticisi
• Uzun hizmet hayatı
• Kolay kurulum ve kullanım
• Çok çeşitli uygulamalarda ve koşullarda güvenilebilir kullanım

Bizim Çözümümüz:

• 440 l/s’e kadar pompalama hızı
• Yağsız hibrit yatak (mekanik/kalıcı manyatik)
• Bağlantı ve aksesuar bileşenlerinin kontrolü için birçok farklı entegre elekronik seçenekler
• Yüksek kompresyon ve yüksek gaz çıkışlı versiyonlar

TURBOVAC MAGiNTEGRA

Turbomoleküler pompalar, manyetikle yükseltilmiş

Endüstriyel uygulamalar için en kompakt ürün gamı. Yerleşik frekans çevirici ve güç kaynağı. Kolay ve yer kurtaran sistem entegrasyonu.

---

Sizin Beklentileriniz:

• Temiz, yüksek ve çok yüksek vakum üreticisi
PVD, kaplama işlemleri, ekran ve cam kaplama gibi endüstriyel kullanımlar için uygun
• Tanecik ve birikintilere duyarsız
• Az bakım gereksinimi

Bizim Çözümümüz:

• Yüksek pompalama hızı ve bütün gazlar için yüksek sıkıştırma oranı
• Holweck safhasını kapsayan
• Tanecik ve birikintilere karşı dayanıklı
• Şok havalandırmalara duyarsız
• İzleme ve kendini koruma fonksiyonları
• Bir çok işlem için bakım gerektirmeyen

TURBOVAC MAG digital

Turbomoleküler pompalar, manyetikle yükseltilmiş

Esnek, titreşimsiz ve az bakım gerektiren ayrı frekans dönüştürücülü turbomoleküler pompalar.

---

Sizin Beklentileriniz:

• Temiz, yüksek ve çok yüksek vakum üreticisi
• Yarı iletken işlemler gerektiren durumlarda sağlamlık ve güvenilirlik
• Herhangi bir yöne doğru kurulum
• Yüksek ön vakum toleransı
• Uzun hizmet ömrü

Bizim Çözümümüz:

• 3,200 l/s’e kadar pompalama hızı
• Manyetikle yükseltilmiş
• Bileşik aşamalı versiyonları mevcut
• Sabit sistem performansı kabiliyeti; yüksek pompalama hızı ve bütün gazlar için yüksek sıkıştırma oranı
• Kolay sistem entegrasyonu
• Sıcaklık yönetim sistemi